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半導体はウエハに様々な処理を施すことで作る。半導体チップを作り上げるにはいくつもの装置で処理を行って、その工程を数か月繰り返す必要がある。そこで大敵となるのが微細なゴミだ。半導体の製造はクリーンルームで行われるが、除去しきれないゴミからウエハを守るため画期的なシステムが作られた。ウエハ搬送システムを手掛けるのが今回のガリバー「ローツェ」だ。40年程前、モーター制御装置をつくる会社としてスタートした。海外での売り上げが80％以上、ウエハ搬送システムとしては世界トップクラスのシェアを誇る。
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ウエハ搬送システムで世界トップクラスの技術を誇るロボットメーカー、ローツェは年商945億円、従業員数3894人。グループの主な拠点は国内に5か所、海外の7つの国と地域にあってグローバルに展開している。日本で設計・開発・営業を行って、製造はベトナムの向上をメインに行っている。装置に欠かせないアルミの価格が安いこと、技術に対する真面目なアプローチなどがベトナムを製造拠点にする理由だ。クリーンな環境が求められる現場に革命を起こしたのが約35年前に開発したロボットだった。かつてベルトコンベアでウエハを運んで、人の手で装置に移すのが当たり前だった時代にローツェはウエハ搬送ロボットを開発。ゴミが発生しやすい駆動部分をアルミカバーで覆ったクリーンなロボットだった。その後、ロボットが箱の中でウエハを装置へ運ぶウエハ搬送システムへと進化させた。
ウエハ搬送システムはロボットアームが中に組み込まれていて、フープで運ばれてきたウエハを取り出して処理装置へ移動させる。世界で信頼される理由の一つがそのクリーンさだ。半導体は小型化が進んでいて、最先端の回路の幅は数nm。この極小の世界で最大の敵が回路に付着するゴミだ。ローツェのウエハ搬送システム内は上から下へと空気の流れを作っている。ゴミは基本的にロボットが動く部分で発生し、ロボットはウエハより下の位置で動くため、下に向かって流れる空気中ではウエハの表面にゴミがつくことはない。2008年、この気流コントロールに関する特許を取得した。
クリーンであることに加えて壊れにくさもローツェが選ばれる理由の一つだ。ローツェに厚い信頼を寄せるのがメモリメーカーとして世界3位の売り上げ高を誇る半導体メーカーの子会社「マイクロンメモリジャパン」。ローツェの装置は突発的な装置トラブルが0.2％以下と非常に信頼性が高いという。ローツェでは設計・製造・販売・アフターサービスまで自社で一貫して行っている。顧客のところに営業と設計担当者が一緒に行って打ち合わせをすることで要望を設計の中に落とし込めるところが強みだ。ローツェの創業者は以前勤めていた会社で新しい製品のアイデアを思いつき、製品化したいと願ったがかなわず自分で会社を起こしたという。
ローツェの創業は1985年、当時はプレハブで従業員も6人という小さな規模だった。その半年後、産業用ロボットで使われるモーターの回転を操るコントローラーの高性能化・小型化に成功。その高い技術が評価されてロボットの開発依頼が舞い込んだ。ローツェが手掛けるモーターの制御装置の特色は滑らかで精密な動きを可能にする点にあるという。
半導体の製造では酸素や水分も影響を及ぼす。そこでローツェが作ったのがウエハを取り出す部分の新たな機能だ。必要な部分だけシャッターが開いてウエハが取れるようになっている。加えてフープの中を窒素で満たすことで酸化を極力防いでいる。
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藤代社長はスマートなロボットを使うことで今まで以上に顧客に価値を提供できるように努力したいと話した。
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