半導体はウエハに様々な処理を施すことで作る。半導体チップを作り上げるにはいくつもの装置で処理を行って、その工程を数か月繰り返す必要がある。そこで大敵となるのが微細なゴミだ。半導体の製造はクリーンルームで行われるが、除去しきれないゴミからウエハを守るため画期的なシステムが作られた。ウエハ搬送システムを手掛けるのが今回のガリバー「ローツェ」だ。40年程前、モーター制御装置をつくる会社としてスタートした。海外での売り上げが80％以上、ウエハ搬送システムとしては世界トップクラスのシェアを誇る。
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