ウエハ搬送システムはロボットアームが中に組み込まれていて、フープで運ばれてきたウエハを取り出して処理装置へ移動させる。世界で信頼される理由の一つがそのクリーンさだ。半導体は小型化が進んでいて、最先端の回路の幅は数nm。この極小の世界で最大の敵が回路に付着するゴミだ。ローツェのウエハ搬送システム内は上から下へと空気の流れを作っている。ゴミは基本的にロボットが動く部分で発生し、ロボットはウエハより下の位置で動くため、下に向かって流れる空気中ではウエハの表面にゴミがつくことはない。2008年、この気流コントロールに関する特許を取得した。
クリーンであることに加えて壊れにくさもローツェが選ばれる理由の一つだ。ローツェに厚い信頼を寄せるのがメモリメーカーとして世界3位の売り上げ高を誇る半導体メーカーの子会社「マイクロンメモリジャパン」。ローツェの装置は突発的な装置トラブルが0.2％以下と非常に信頼性が高いという。ローツェでは設計・製造・販売・アフターサービスまで自社で一貫して行っている。顧客のところに営業と設計担当者が一緒に行って打ち合わせをすることで要望を設計の中に落とし込めるところが強みだ。ローツェの創業者は以前勤めていた会社で新しい製品のアイデアを思いつき、製品化したいと願ったがかなわず自分で会社を起こしたという。