プラズマを使って半導体の表面を削る装置にアドテックプラズマテクノロジーの電源が使われている。刃物などでは不可能な加工で実力を発揮するのがプラズマ。原子は通常電気的には中性で、そこに電気エネルギーを与えるとプラスの状態の陽イオンになる。プラズマの中ではマイナスの電子が軽くて速いため、陽イオンよりも基盤に先に到着してシリコン基板の表面がマイナスの状態になる。マイナスとプラスが引き合う力で陽イオンが基盤に高速で垂直に衝突して削っていく。安定した電源だからこその信頼で世界的な半導体製造装置メーカーに採用されている。
プラズマを維持するためには決まった電力を送り続ける必要がある。プラズマに影響されて常に電力の出力は上がったり下がったりと一定を保てない状態になる。それを防ぐために電源内に特殊なセンサーを内蔵している。常に出力がどの程度変わろうとしているのかセンサーが監視、出力が一定になるよう自動で制御している。
アドテックプラズマテクノロジーの創業は1985年。当初は様々なコントロール基板の開発製造を手がけていたが、プラズマ用高周波電源に参入したのは創業者が取引先の半導体工場で聞いた「高周波電源は壊れて当たり前」という言葉だった。当時は1年ほどで壊れてしまうというのが業界の定説で、認識としては消耗品だったという。
プラズマを維持するためには決まった電力を送り続ける必要がある。プラズマに影響されて常に電力の出力は上がったり下がったりと一定を保てない状態になる。それを防ぐために電源内に特殊なセンサーを内蔵している。常に出力がどの程度変わろうとしているのかセンサーが監視、出力が一定になるよう自動で制御している。
アドテックプラズマテクノロジーの創業は1985年。当初は様々なコントロール基板の開発製造を手がけていたが、プラズマ用高周波電源に参入したのは創業者が取引先の半導体工場で聞いた「高周波電源は壊れて当たり前」という言葉だった。当時は1年ほどで壊れてしまうというのが業界の定説で、認識としては消耗品だったという。