半導体ウエハーはシリコン原子が並んでできている。規則正しく原子が並んでいればきれいに写る。不規則に並んでいる部分は黒く陰のように写る。調べたい物質から新たに出たX線を計測すると元素の種類がわかる。散らばったX線の角度を計測すると構造の違いはわかる。
ミクロの世界を調べるX線分析計測装置に使う部品にはわずかなズレも許されない。電子を金属にぶつけると1％のX線と99％の熱が発生する。大量の熱を分散させるために金属の的を回転させる。回転性能が求められるため、軸精度が数μmで要求される。X線発生装置と検出装置の角度調整をする部品は正しく中央に取り付ける必要がある。最終調整まで人の手が加わり高精度な装置ができる。