東京精密の表面粗さ測定機はレーザーを用いた計測技術を活用することで微細な表面の荒さに加えて広範囲に輪郭の形状を測ることを可能にしている。こうした高い精度の測定はあらゆる精密機器の製造現場に必要不可欠。最新の表面荒さ測定機は100万分の1mmまで測れるが、以前のモデルではモーターと歯車によって微細な振動が発生していた。最新機種はリニアモーターで金属部分が非接触で可動するため、機械自体が起こす振動の影響をほとんど受けない。さらに振動を減らすため、除振台・防風カバー・カーボン素材の測定子を採用するなど外的な要因にも対処。
東京精密は1949年に設立。ミシン用の工具からスタートして、次第に様々な工具を扱うようになった。転機となったのは1952年の空気マイクロメータの開発。空気マイクロメータは高圧の空気を出して圧力を検知して寸法を測定する機械。1957年には電気マイクロメータを開発。正確な測定技術を応用して新たな事業にもチャレンジ。1958年、ゲルマニウムペレット厚さ自動選別機を開発。この選別機を世界中から評価されたことで、半導体事業に力を入れ始めた。様々な半導体製造装置を開発した。